WWW.KONFERENCIYA.SELUK.RU

БЕСПЛАТНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА - Конференции, лекции

 

РОССИЙСКАЯ ФЕДЕРАЦИЯ (19) (11) (13)

RU 2 522 681 C2

(51) МПК

H01J 40/14 (2006.01)

ФЕДЕРАЛЬНАЯ СЛУЖБА

ПО ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СОБСТВЕННОСТИ

(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К ПАТЕНТУ

2012138224/07, 06.09.2012 (21)(22) Заявка: (72) Автор(ы):

Филачев Анатолий Михайлович (RU), (24) Дата начала отсчета срока действия патента:

Лопухин Алексей Алексеевич (RU), 06.09. Киселева Лариса Васильевна (RU), Рябова Анна Алексеевна (RU), Приоритет(ы):

Кожаринова Елена Анатольевна (RU), (22) Дата подачи заявки: 06.09. RU Умникова Елена Васильевна (RU) (43) Дата публикации заявки: 20.03.2014 Бюл. № (73) Патентообладатель(и):

(45) Опубликовано: 20.07.2014 Бюл. № 20 Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство промышленности (56) Список документов, цитированных в отчете о и торговли Российской Федерации (RU) поиске: Киселева Л.В. и др. "Исследование характеристик матричного фотоприемника с тонкой базовой областью на основе InSb", Тезисы докладов XIX Международной научно-технической конференции по фотоэлектронике и приборам ночного видения 23-26 мая 2006 г стр.118. RU 2343590C1, 10.01.2009. RU 2137259C1, 10.09.1999. RU 2460174C1,27.08.2012. US 2005059780A1, 17.03.2005. US 2009038669A1, C 12.02. C Адрес для переписки:

111123, Москва, ш. Энтузиастов, 46/2, ОАО "НПО "Орион", патентно-лицензионный отдел

(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МАТРИЧНОГО ФОТОПРИЕМНИКА

(57) Реферат:

Изобретение относится к технологии толщины. Технический результат - повышение изготовления полупроводниковых качества фотоприемника за счет исключения фотоприемников и может использоваться для появления остатков нестравленной части создания многоэлементных фотоприемников диэлектрического покрытия со стороны различного назначения. Изготовление нанесения просветляющего покрытия.

матричного фотоприемника (МФП) из объемного Фоточувствительный элемент с толстой базовой материала требует утоньшения базовой области областью изготавливают с не закрытой матричного фоточувствительного элемента диэлектрическим покрытием периферийной RU (МФЧЭ) до толщины 1015 мкм. Процесс областью на лицевой стороне кристалла шириной утоньшения включает химико-механическую 200-300 мкм. В результате утоньшения полностью полировку до толщины базовой области отсутствует периферийная нестравленная часть фоточувствительного элемента 80100 мкм и диэлектрического покрытия на лицевой стороне химико-динамическую полировку до конечной МФЧЭ. 3 ил.

Стр.: RU 2522681 C Стр.: C2 2522681 RU

FEDERAL SERVICE

FOR INTELLECTUAL PROPERTY

(12)

Abstract

OF INVENTION

(24) Effective date for property rights:

(22) Date of filing: 06.09. (43) Application published: 20.03.2014 Bull. № (45) Date of publication: 20.07.2014 Bull. № 20 Rossijskaja Federatsija, ot imeni kotoroj 111123, Moskva, sh. Ehntuziastov, 46/2, OAO "NPO "Orion", patentno-litsenzionnyj otdel

(54) METHOD OF MAKING PHOTODETECTOR ARRAY

(57) Abstract:

of producing semiconductor photodetectors and can be coating on the side where an antireflection coating is used to design multielement photodetectors for various deposited.

purposes. Producing a photodetector array from bulk 3 dwg material requires thinning the base region of an array photosensitive element to thickness of 10-15 mcm. The thinning process includes chemical-mechanical polishing to thickness of the base region of the photosensitive element of 80-100 mcm and chemical-dynamic polishing to final thickness. A photosensitive element with a thick base region is made with a peripheral region which is not coated with a dielectric coating on the front side of a chip with thickness of 200-300 mcm. Thinning completely eliminates a peripheral non-etched part of the dielectric coating on the front side of the array photosensitive element.

Изобретение относится к технологии изготовления полупроводниковых фотоприемников и может использоваться для создания многоэлементных фотоприемников различного назначения.

Изготовление матричного фотоприемника (МФП) из объемного материала требует утоньшения базовой области матричного фоточувствительного элемента (МФЧЭ) до толщины 1015 мкм.

Известен способ изготовления матричного фотоприемника [патент на изобретение РФ №2343590], заключающийся в том, что утоньшение базовой области матричного фоточувствительного элемента осуществляют с использованием промежуточной подложки. Для этого фоточувствительный элемент приклеивают промежуточным клеем-расплавом на промежуточную несущую подложку из лейкосапфира. Затем другую сторону фоточувствительного элемента, свободную от приклейки, утоньшают химикомеханической обработкой до нужной толщины (1020 мкм) и проводят анодное оксидирование. После чего приклеивают к обработанной стороне стационарным оптическим клеем несущую подложку из высокоомного полированного кремния и удаляют промежуточную несущую подложку вместе с промежуточным клеем-расплавом.

Гибридизацию фоточувствительного элемента с кремниевой БИС мультиплексора осуществляют после процесса утоньшения базовой области.

Недостатком этой технологии являются потери полезного сигнала при прохождении ИК-излучения в несущей подложке из кремниевого материала и оптическом клее. В некоторых случаях наблюдается искажение сигнала за счет интерференции в клеевом слое. Кроме того, возникают трудности при переклейке «тонкой» структуры.



Известен способ изготовления матричного фотоприемника из объемного материала, принятый в качестве прототипа [Тезисы докладов XIX Международной научнотехнической конференции по фотоэлектронике и приборам ночного видения 23-26 мая 2006 г., Киселева Л.В. и др. «Исследование характеристик матричного фотоприемника с тонкой базовой областью на основе InSb», 2006 г., стр.118], заключающийся в том, что утоньшение базовой области фоточувствительного элемента проводят после гибридизации матричного фоточувствительного элемента и БИС мультиплексора.

Процесс утоньшения включает химико-механическую полировку до толщины базовой области фоточувствительного элемента 80100 мкм и химико-динамическую полировку до конечной толщины.

Однако в известном устройстве после химико-динамической полировки за счет уменьшения габаритов элемента остается периферийная нестравленная часть диэлектрического покрытия на лицевой стороне МФЧЭ (например, покрытие SiO толщиной 4000 А и шириной 200 мкм), которая затрудняет вымывание защитного состава из пространства индиевых микроконтактов, хаотически разрушается в результате отмывки и загрязняет поверхность со стороны утоньшения перед операцией нанесения просветляющего покрытия.

Предложенное изобретение решает задачу создания простого и надежного способа исключения появления остатков нестравленной части диэлектрического покрытия со стороны нанесения просветляющего покрытия.

Технический результат в изобретении достигается тем, что фоточувствительный элемент с толстой базовой областью изготавливают с не закрытой диэлектрическим покрытием периферийной областью на лицевой стороне кристалла шириной 200- мкм. Таким образом, в результате утоньшения кристалла до нужной толщины ( мкм) полностью отсутствует периферийная нестравленная часть диэлектрического покрытия на лицевой стороне МФЧЭ.

Изобретение поясняется чертежами, где:

На фиг.1 показан матричный фоточувствительный элемент с толстой базовой областью и с незакрытой диэлектрическим покрытием периферийной областью на лицевой стороне кристалла шириной 200-300 мкм.

На фиг.2 и фиг.3 показан результат утоньшения по описанному способу матричного фоточувствительного элемента InSb с габаритами 10,5058,605 мм, гибридизированного с БИС мультиплексора, от толщины 400 мкм до толщины 1012 мкм. При этом габариты утоньшаемого фоточувствительного элемента InSb уменьшились не более чем на мкм с каждой из четырех сторон.

Для осуществления изобретения осуществляют следующую последовательность действий:

- Изготавливают фоточувствительный элемент с толстой базовой областью с не закрытой диэлектрическим покрытием периферийной областью на лицевой стороне кристалла шириной 200-300 мкм (фиг.1).

- Осуществляют гибридизацию БИС мультиплексора с толстой базовой областью (толщиной 0,41 мм) фоточувствительного элемента посредством индиевых столбиков.

- Утоньшают толстую базовую область МФЧЭ прецизионными бездефектными методами химико-механической полировкой (до толщины 10080 мкм) и химикодинамической полировкой до конечной толщины 1015 мкм (тонкая базовая область - Наносят защитное и просветляющее покрытие на отмытую поверхность тонкой базовой области МФЧЭ после процесса отклеивания мультиплексора от крепежного устройства.

Предлагаемый способ был опробован в ФГУП «НПО «Орион» при создании экспериментальных и опытных образцов матричных фотоприемников на основе антимонида индия (InSb). Однако предлагаемый способ применим и к другим полупроводниковым материалам.

На фиг.2 и фиг.3 показан результат утоньшения по описанному способу матричного фоточувствительного элемента InSb с габаритами 10,5058,605 мм, гибридизированного с БИС мультиплексора, от толщины 400 мкм до толщины 1012 мкм. При этом габариты утоньшаемого фоточувствительного элемента InSb уменьшились не более чем на мкм с каждой из четырех сторон.

Способ изготовления матричного фотоприемника, заключающийся в том, что фоточувствительный элемент гибридизируют с БИС мультиплексора и утоньшают базовую область фоточувствительного элемента, отличающийся тем, что фоточувствительный элемент изготавливают с не закрытой диэлектрическим покрытием периферийной областью на лицевой стороне кристалла.

RU 2 522 681 C

Похожие работы:

«Конференция + экспертная фокус-группа по проблеме акне (дерматология-косметология) – (. 00:00:00) получается в этой области, и они пишут протокол. И потом этот протокол мы все вместе с вами обсуждаем. Согласны? Мне кажется, что так будет намного продуктивнее. – Т.е. после докладов мы вопросы не задаем и не обсуждаем? – Нет, задаем и обсуждаем. – Я вас призываю с самого утра, поскольку у нас очень много времени. Буквально четко одним двумя предложениями сформулировать (. 00:00:29). (. 00:00:54)...»

«профессиональной деятельности, профессионально излагать специальную информацию, научно аргументировать и защищать свою точку зрения. Основные научные результаты, полученные автором магистерской диссертации, подлежат обязательной апробации путем публикации в научных печатных изданиях, изложенных в докладах на научных конференциях, симпозиумах, семинарах и других формах. 1.4. Выпускная квалификационная работа магистра предполагает: анализ и обработку информации полученной в результате изучения...»

«РОССИЙСКАЯ ФЕДЕРАЦИЯ (19) (11) (13) RU 2 458 986 C2 (51) МПК C12N 9/22 (2006.01) ФЕДЕРАЛЬНАЯ СЛУЖБА ПО ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СОБСТВЕННОСТИ (12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К ПАТЕНТУ (21)(22) Заявка: 2008120324/10, 23.05.2008 (72) Автор(ы): Четверин Александр Борисович (RU), (24) Дата начала отсчета срока действия патента: Четверина Елена Владимировна (RU), 23.05.2008 Фалалеева Марина Витальевна (RU), Угаров Виктор Иванович (RU), Приоритет(ы): Узлова Елена Александровна (RU) (22) Дата подачи заявки: 23.05....»

«“Проблемы ботаники Южной Сибири и Монголии” – VI Международная научно-практическая конференция IV. CПОРОВЫЕ РАСТЕНИЯ. УДК 582.29 (571.54) С.Э. Будаева S. Budaeva ЛИШАЙНИКИ ОКРЕСТНОСТЕЙ ПОС. ОЗЁРНЫЙ (ЕРАВНИНСКАЯ КОТЛОВИНА, ВИТИМСКОЕ ПЛОСКОГОРЬЕ) THE LICHENS OF OZYERNY VICINITY (ERAVNINSKY HOLLW, VITIMSKOE PLATEAEU) В работе рассматриваются лишайники Еравнинской котловины окр. пос. Озёрный (Витимское плоскогорье). Впервые обнаружены редкие виды лишайников Heterodermia speciosa (Wulfen) Trevis.,...»

«Научная жизнь КемГУ Конференции Отчт о проведении IV Международной научной конференции Актуальные проблемы современного словообразования (г. Кемерово, КемГУ, 4 - 6 июля 2011 г.) В Кемеровском государственном университете прошла очередная – четвертая – Международная научная конференция, на которой обсуждались актуальные проблемы современного словообразования. Организация и проведение конференции уже вторично были поддержаны Российским гуманитарным научным фондом (проект № 11-04-14087г). Как и...»

«INTERNATIONAL CONFERENCE PLANT CELL BIOLOGY AND BIOTECHNOLOGY Minsk, February 13–15, 2013 2013 581.17(06)+604.6:58(06) 28.54 43+30.16 43 48 :.,.,.,.,.,.,. :....-.., 13–15. 2013.,,International conference Plant Cell Biology and Biotechnology, Minsk, February 13–15, 2013 /. :. ISBN 978-985-553-097-9. -, 13–15 2013.,,., -,. 581.17(06)+604.6:58(06) 28.54 43+30. ISBN 978-985-553-097-9 ©, Организационный комитет: В.М. Юрин, профессор, д.б.н. (почетный председатель) В.В....»

«Министерство образования и наук и Российской Федерации Московский государственный технологический университет СТАНКИН МАТЕРИАЛЫ СТУДЕНЧЕСКОЙ НАУЧНО-ПРАКТИЧЕСКОЙ КОНФЕРЕНЦИИ АВТОМАТИЗАЦИЯ И ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ (АИТ-2012) апрель 2012 г. МОСКВА 2012 УДК 002:621 Материалы студенческой научно-практической конференции Автоматизация и информационные технологии (АИТ-2012). Второй тур. Сборник докладов. – М.: МГТУ Станкин, 2012. – 133 с. В сборник докладов включены материалы второго тура...»

«XI МЕЖДУНАРОДНАЯ НАУЧНО-МЕТОДИЧЕСКАЯ КОНФЕРЕНЦИЯ НОВЫЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ В ВУЗЕ Джаналиева Ж.Р., Байрахтарова А.Т. ОБУЧЕНИЕ ЧЕРЕЗ РАЗРАБОТКУ ЭКЗАМЕНУЮЩИХ ПРОГРАММ СО СЛУЧАЙНЫМ ФОРМИРОВАНИЕМ ЗАДАНИЙ Janalieva J.R., Bairahtarova A.T. LEARNING BY MEANS OF DEVELOPING EXAMINING SOFTWARE WITH RANDOM GENERATION OF TASKS noledi@yandex.ru Кыргызско-Российский Славянский университет г. Бишкек НОТВ-2014 В данной статье на основе ранее предложенной авторами методики случайного формирования заданий...»

«Конференция научно-исследовательских работ и творческих проектов школьников в области математики и информационных технологий прошла 8 ноября 2013 года на базе МГТУ МИРЭА совместно с кафедрами Университета. В работе двух секций конференции приняло участие 87 человек. На секцию информационных технологий было представлено 25 работ из 16 школ города Москвы, из них 15 докладов (18 авторов) и 10 работ (15 авторов) участвовало в конкурсе заочно. Значительное большинство работ школьников было...»

«IOC/IPHAB-VI/3s Париж, 17 апреля 2003 г. Оригинал: английский МЕЖПРАВИТЕЛЬСТВЕННАЯ ОКЕАНОГРАФИЧЕСКАЯ КОМИССИЯ (ЮНЕСКО) ШЕСТАЯ СЕССИЯ МЕЖПРАВИТЕЛЬСТВЕННОЙ ГРУППЫ МОК ПО ВРЕДОНОСНОМУ ЦВЕТЕНИЮ ВОДОРОСЛЕЙ Сент-Питерсберг, Флорида, Соединенные Штаты Америки, 17-19 октября 2002 г. РАБОЧЕЕ РЕЗЮМЕ Шестая сессия Межправительственной группы МОК по вредоносному цветению водорослей (МГВЦВ) была проведена Фондом национальной наук и (ФНН) Соединенных Штатов Америки 17-19 октября 2002 г. в конференц-зале...»

«НОВЫЕ ИДЕИ В ОБЛАСТИ ПОДГОТОВКИ АСПИРАНТОВ Борис Максимович Фирсов Европейский университет в Санкт-Петербурге Cанкт-Петербург На этой конференции я представляю Европейский университет в Санкт-Петрбурге - негосударственное образовательное учреждение, созданное при самом деятельном и заинтересованном участии городских властей (мэрия, Правительство, Департамент образования и наук и Администрации, Законодательное собрание Санкт-Петербурга) и, наверное, во многом по этой причине получившее...»

«МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ ПЕРСПЕКТИВЫ РАЗВИТИЯ НАУКИ И ОБРАЗОВАНИЯ Сборник научных трудов по материалам Международной научно-практической конференции Часть I 29 ноября 2013 г. АР-Консалт Москва 2013 1 УДК 000.01 ББК 60 Перспективы развития наук и и образования: Сборник научных П27 трудов по материалам Международной научно-практической конференции 29 ноября 2013 г. В 7 частях. Часть I. Мин-во обр. и науки - М.: АРКонсалт, 2013 г.- 172 с. ISBN 978-5-906353-57-3 ISBN...»

«Полная исследовательская публикация Тематический раздел: Кинетика и катализ. Регистрационный код публикации: 12-30-5-94 Подраздел: Композиционные материалы. Публикация доступна для обсуждения в рамках функционирования постоянно действующей интернет-конференции “Бутлеровские чтения”. http://butlerov.com/readings/ УДК 542.9437. Поступила в редакцию 29 мая 2012 г. Исследование бинарных смесевых композиций оксидов переходных металлов, нанесенных на полимерную матрицу, в реакции окисления сульфида...»

«DAILY MONITOR 9 июля 2014 г. НОВОСТИ ИНДИКАТОРЫ Значение Изменение -0,41% 34,4258 Азиатские импортеры зерна воздерживаются Курс $, ЦБ РФ -0,28% от закупок, ожидая дальнейшего снижения 46, Курс €, ЦБ РФ мировых цен -0,12% 2, Курс UAH, ЦБ РФ Reuters -0,61% 11, Курс $/UAH, межбанк -0,58% 15, Курс €/UAH, НБУ Экспорт российской пшеницы нового урожая +0,18% 1, Курс $/€ при действующей мировой цене пока +0,37% 70, рентабелен при условии возврата НДС DJ-UBS Agro -0,17% Интерфакс 52, DJ-UBS Grains...»

«C 2009/INF/12 R Август 2009 года КОНФЕРЕНЦИЯ Тридцать шестая сессия Рим, 18-23 ноября 2009 года Выполнение рекомендаций региональных конференций, состоявшихся в 2008–2009 годах Содержание Пункты ДВАДЦАТЬ ДЕВЯТАЯ РЕГИОНАЛЬНАЯ КОНФЕРЕНЦИЯ ФАО ДЛЯ БЛИЖНЕГО ВОСТОКА 1- ТРИДЦАТАЯ РЕГИОНАЛЬНАЯ КОНФЕРЕНЦИЯ ФАО ДЛЯ ЛАТИНСКОЙ АМЕРИКИ И КАРИБСКОГО БАССЕЙНА 22- ДВАДЦАТЬ ПЯТАЯ РЕГИОНАЛЬНАЯ КОНФЕРЕНЦИЯ ФАО ДЛЯ АФРИКИ 34- ДВАДЦАТЬ ШЕСТАЯ РЕГИОНАЛЬНАЯ КОНФЕРЕНЦИЯ ФАО ДЛЯ ЕВРОПЫ 42- ДВАДЦАТЬ ДЕВЯТАЯ...»

«РОССИЙСКАЯ ФЕДЕРАЦИЯ (19) (11) (13) RU 2 521 209 C1 (51) МПК A61K 31/732 (2006.01) A61K 31/79 (2006.01) A61K 31/14 (2006.01) A61K 36/02 (2006.01) A61K 9/08 (2006.01) A61P 17/02 (2006.01) ФЕДЕРАЛЬНАЯ СЛУЖБА A61P 31/04 (2006.01) ПО ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СОБСТВЕННОСТИ (12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К ПАТЕНТУ 2013111207/15, 14.03. (21)(22) Заявка: (72) Автор(ы): Панарин Евгений Федорович (RU), (24) Дата начала отсчета срока действия патента: Деев Игорь Анатольевич (RU), 14.03. Сантурян Юлия Галустовна (RU),...»

«СПИСОК ДОКЛАДОВ, ОПУБЛИКОВАННЫХ В ТРУДАХ ПЕРВЫХ ДВЕНАДЦАТИ КОНФЕРЕНЦИЙ ПРОБЛЕМЫ МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЯ ПРИ ПРОЕКТИРОВАНИИ, ИЗГОТОВЛЕНИИ И ЭКСПЛУАТАЦИИ ОБОРУДОВАНИЯ АЭС, ПРОВЕДЕННЫХ ФГУП ЦНИИ КМ ПРОМЕТЕЙ В 1991-2012 ГОДАХ. Россия, Санкт-Петербург Обобщающая таблица Конференция Том Количество Количество докладов печатных страниц Первая (1991г.) 1 19 280 Вторая (1992г.) 1 30 2 29 Третья (1994г.) 1 20 1 (продолжение) 17 2 23 3 15 Четвертая 1 23 (1996г.) 2 20 3 16 Пятая (1998г.) 1 32 2 25 3 29 4 31 Шестая...»

«RU 2 477 327 C1 (19) (11) (13) РОССИЙСКАЯ ФЕДЕРАЦИЯ (51) МПК C22B 34/22 (2006.01) C22B 34/34 (2006.01) C22B 59/00 (2006.01) C22B 60/02 (2006.01) C22B 3/08 (2006.01) ФЕДЕРАЛЬНАЯ СЛУЖБА ПО ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СОБСТВЕННОСТИ (12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К ПАТЕНТУ (21)(22) Заявка: 2011136709/02, 05.09.2011 (72) Автор(ы): Сарычев Геннадий Александрович (RU), (24) Дата начала отсчета срока действия патента: Денисенко Александр Петрович (RU), 05.09.2011 Зацепина Мария Сергеевна (RU), Деньгинова Светлана...»

«Международная научно-практическая конференция 1 Молодежь в постиндустриальном обществе 25 декабря 2012 года УДК 374.32 А.Ю. Морковина Институт информационных коммуникаций и библиотек МГУКИ (г. Москва) ДУХОВНО-НРАВСТВЕННОЕ ВОСПИТАНИЕ ЧИТАТЕЛЕЙ ДЕТСКО-ЮНОШЕСКИХ БИБЛИОТЕК (НА ПРИМЕРЕ САРАТОВСКОЙ ОБЛАСТНОЙ БИБЛИОТЕКИ ДЛЯ ДЕТЕЙ И ЮНОШЕСТВА ИМ. А.С. ПУШКИНА) Высказываются опасения, что будущее поколение, получая образование без внимания к духовно-нравственному воспитанию, может вырасти...»

«Научно-координационный совет по международным исследованиям МГИМО (У) МИД России Российско-китайское сотрудничество: проблемы и решения (материалы Всероссийской научно–практической конференции, МГИМО(У) МИД РФ, г. Москва, 21–22 декабря 2006 г.) Москва МГИМО-Университет 2007 Научно координационный совет по международным исследованиям МГИМО (У) МИД России Центр исследований Восточной Азии и ШОС Российско-китайское сотрудничество: проблемы и решения (материалы Всероссийской научно–практической...»









 
2014 www.konferenciya.seluk.ru - «Бесплатная электронная библиотека - Конференции, лекции»

Материалы этого сайта размещены для ознакомления, все права принадлежат их авторам.
Если Вы не согласны с тем, что Ваш материал размещён на этом сайте, пожалуйста, напишите нам, мы в течении 1-2 рабочих дней удалим его.